大型臭氧發生器以機組形式存在。
1、空氣源機組主要由無油壓縮空氣及氣源干燥凈化系統、尾氣發生系統（包括臭氧放電室、驅動電源系統、控制系統）、臭氧化應用系統、尾氣毀滅系統組成。
2、液氧氣源機組要有液氧儲罐、汽化器、原料氣控制系統、臭氧發生系統、應用系統、尾氣處理系統組成。
3、也有使用吸附式制氧或富氧作為原料氣組成的機組。它由無油空壓機、冷干機、制氧系統、臭氧發生系統、臭氧應用系統組成。
 應用范圍：
1、化工氧化：臭氧作為氧化劑、催化劑和精制劑應用于化工、石油、造紙、紡織、制藥和香精香料工業。
2、紙漿漂白：臭氧在紙漿和造紙工業中，用于化學漿液漂白或機械漿液的機械特性的改善，減少紙漿漂白過程中氯對環境的污染。
3、水處理：主要應用于大型自來水廠、化工污水、中水回用、印染污水、水務工程、食品行業廢水、制漿造紙廢水、冷卻水處理。臭氧活性炭，臭氧生物活性碳及UV/O3高級氧化處理。臭氧在水中對細菌、病毒等微生物殺滅率高速度快，對有機化合物等污染物質去除徹底不產生二次污染。并能降低生化需氧量和化學需氧量，去除亞硝酸鹽、懸浮固體及脫色。
4、大空間空氣滅菌：用于食品制藥等行業，大型加工車間空氣滅菌。